中国国家电子级超纯水规格 GB/T11446.1-1997
| 电阻率 | Si | Cu | Zn | Ni | Na | K | Cl | >1μm 颗粒 | 细菌 | Agno3 | -PO4 ≤μg/L | SO4、≤μg/L | TOC |
EW-I | ≥18* | 2 | 0.2 | 0.2 | 0.1 | 0.5 | 0.5 | 1 | 0.1 | 0.01 | 1 | 1 | 1 | 20 |
EW - II | ≥15 ** | 10 | 1 | 1 | 1 | 2 | 2 | 1 | 5 | 0.1 | 1 | 1 | 1 | 100 |