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特性
ULVAC机工的GCD系列直联型油旋片式真空泵，具有耐腐蚀性，可用于对有毒气体和腐蚀性气体的排气，适用于化学，半导体和生化行业。共有三种机型，排气范围在50L/min.至200L/min.之间。
使用指导
1.GCD系列真空泵请使用合成泵油（SOM）。
2.对任何有毒或腐蚀性气体排气前请咨询当地销售商。
3.油旋片真空泵并不适用于在大气压附近连续运转。
应用
1.半导体业界
2.化学业界
3.化学处理后干燥
4.生化业界
5.防污染耐酸性处理
型 号 | 实际排气速度（L/min.） | 极限压力 （Pa） | 吸气管径 （mm） | 重量 （kg） | 外形尺寸 W×L×H（mm） | 电机 | |
功率（W） | 可选电压（V） | ||||||
※ GCD-051X | 50/60 （50/60Hz） | 6.7×10-2（气镇阀关闭） 6.7（气镇阀打开） | KF-25 | 14.1 | 165.5×423×222.7 | 200 | 单相 100.115.200.220.230 |
GCD-136X | 135/162 （50/60Hz） | 6.7×10-2（气镇阀关闭） 6.7（气镇阀打开） | KF-25 | 25.4 | 170×493×241.1 | 400 | ※ 单相100-120.200-240 三相200-240.380-460 |
GCD-201X | 200/240 （50/60Hz） | 6.7×10-2（气镇阀关闭） 6.7（气镇阀打开） | KF-25 | 26.6 | 170×509.5×241.1 | 750 | ※ 单相100-120.200-240 三相200-240.380-460 |
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