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日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵技术参数

发布时间: 2015-12-29  点击次数: 1067次

日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵 一、特性

 

• 双绕式涡旋泵,含1 根轨道螺旋和2 根固定螺旋。

• 可在大气压下实现操作运行。

• 可实现高极限真空。

• 低振动低噪音。

• 维护周期可通过计时表控制。

 

日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵 二、应用

 

• 分析设备

• 气体回收系统

• 涂料设备• TMP 前级泵

• 氦渗漏探测器

• 半导体制造工艺

 

日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵 三、规格参数

 

 

单位

50Hz

60Hz

实际抽速

L/min

90

108

极限压力

Pa

5.0

马达

 

单相, 100/115/200/230V, 
150W, 4P, 电容启动运行

满载电流

A

2.6/1.3/1.6
(100/200/230V)

2.1/2.2/1.1/1.1 
(100/115/200/230V)

重量

kg

14.0

进出气管道直径

 

进气管 KF-25 出气管 KF-16

环境温度

°C

5 – 40

水蒸气处理

g/天

≤5 (A.F. 开启)

尺寸

mm

214(W) × 308(L) × 225(H)

 

四、外形图

 

 

五、泵数曲线

 

六、对应电压与认证

 

电压

现行电压

CE 认证

CSA 认证

单相, 
100V / 115V (60Hz)/ 200-230V

标准

 

 




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