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日本ULVAC CFB-650Z脂润滑分子泵技术参数

发布时间: 2015-12-29  点击次数: 1340次

日本ULVAC CFB-650Z脂润滑分子泵 一、产品简介

        CFB-Z系列脂润滑分子泵其叶轮采用国内*的变截面叶齿,轴承采用脂润滑陶磁精密轴承,以更高的可靠性实现了泵的任意角度安装和清洁无油的高真空环境,广泛应用于光伏、照明、宇航、半导体、能源、军工、激光、家电、新材料、汽车等真空技术的各个领域。

 

日本ULVAC CFB-650Z脂润滑分子泵 二、产品特点

        

  • 由于对分子量大的气体有很高的压缩比,因此该泵不需要冷阱和油挡板即可获得高真空和超高真空。
  • 轴承采用脂润滑陶瓷精密轴承,可以实现泵的任意角度安装。

 

日本ULVAC CFB-650Z脂润滑分子泵 三、主要性能指标

 

型号

CFB-650Z

进气口法兰

LF160

CF150

排气口法兰

KF40

抽气速率

L/s

650

压缩比N2/H2

1×109/1×104

极限压强

Pa

3×10-6

2×10-7  

电机转速

rpm

24000

振动值

μm

≤0.1

启动时间

min

<5

使用轴承

脂润滑陶瓷轴承

前极泵

L/s

4-8

冷却方式

水冷

冷却水温度

≤25

环境温度

<40

冷却水流量

L/min

1

安装方向

任意角度

重量

kg

~26

 


四、特性曲线及安装尺寸

 

CFB系列抗冲击分子泵对大气的抽速曲线 

CFB系列抗冲击分子泵对氮气及氢气压缩比曲线

 CFB-650Z安装尺寸

型号规格

CFB-650Z

高真空法兰

LF160

CF150

D1

Ф180

Ф202

D2

Ф236

Ф236

D3

212

212

L1

112

112

H1

308

308

H2

248.5

248.5

H3

92

92

H4

224.5

224.5




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