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日本ULVAC CFB-1200N耐腐蚀分子泵技术参数

发布时间： 2015-12-29　　点击次数： 1000次

日本ULVAC CFB-1200N耐腐蚀分子泵一、产品简介

CFB-N系列耐腐蚀分子泵其叶轮采用国内*的变截面叶齿，轴承采用陶磁精密轴承，以更高的可靠性实现了清洁无油的高真空环境，产品做了耐腐蚀的设计，具有*的耐腐蚀性能，广泛应用于光伏、照明、宇航、半导体、能源、军工、激光、家电、新材料、汽车等真空技术的各个领域。

日本ULVAC CFB-1200N耐腐蚀分子泵二、产品特点

由于对分子量大的气体有很高的压缩比，因此该泵不需要冷阱和油挡板即可获得高真空和超高真空。
轴承采用脂润滑陶瓷精密轴承，可以实现泵的任意角度安装。

日本ULVAC CFB-1200N耐腐蚀分子泵三、主要性能指标

型号		CFB-1200N
进气口法兰	—	LF200	CF200
排气口法兰	—	KF40
抽气速率	L/s	1200
压缩比N2/H2	—	1×109/1×104
极限压强	Pa	5×10-7	8×10-8
电机转速	rpm	24000
启动时间	min	＜5
使用场合	—	耐腐蚀
振动值	μm	≤0.1
前极泵	L/s	8-15
冷却水温度	℃	≤20
泵体烘烤温度	℃	<120
冷却水流量	L/min	1
加热器功率	W	<600
加热器输入电压	V	AC220
安装方向	—	垂直±5°
重量	kg	～34

四、特性曲线及安装尺寸

CFB系列抗冲击分子泵对大气的抽速曲线

CFB系列抗冲击分子泵对氮气及氢气压缩比曲线

CFB-N系列耐腐蚀复合分子泵安装尺寸表

型号规格	CFB-1200N
高真空法兰	LF200	CF200
D1	Ф240	Ф253
D2	Ф267	Ф267
D3	□167.6	□167.6
L1	142	142
L2	152	152
H1	393	393
H2	108	108
H3	135.5	135.5
H4	104	104
泵腿螺钉孔	4-M8	4-M8

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