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日本ULVAC CFB-1600N耐腐蚀分子泵 一、产品简介
CFB-N系列脂润滑分子泵其叶轮采用国内*的变截面叶齿，轴承采用脂润滑陶磁精密轴承，以更高的可靠性实现了泵的任意角度安装和清洁无油的高真空环境，广泛应用于光伏、照明、宇航、半导体、能源、军工、激光、家电、新材料、汽车等真空技术的各个领域。
日本ULVAC CFB-1600N耐腐蚀分子泵 二、产品特点
日本ULVAC CFB-1600N耐腐蚀分子泵 三、主要性能指标
型号 | CFB-1600N | ||
进气口法兰 | — | LF250 | CF250 |
排气口法兰 | — | KF50 | |
抽气速率 | L/s | 1600 | |
压缩比N2/H2 | — | 1×109/1×104 | |
极限压强 | Pa | 5×10-7 | 8×10-8 |
电机转速 | rpm | 21000 | |
启动时间 | min | ＜6 | |
使用场合 | — | 耐腐蚀 | |
振动值 | μm | ≤0.15 | |
前极泵 | L/s | 15 | |
冷却水温度 | ℃ | ≤20 | |
泵体烘烤温度 | ℃ | <120 | |
冷却水流量 | L/min | 1 | |
加热器功率 | W | <700 | |
加热器输入电压 | V | AC220 | |
安装方向 | — | 垂直±5° | |
重量 | kg | ～39 | |
四、特性曲线及安装尺寸
CFB-N系列抗冲击分子泵对大气的抽速曲线
CFB-N系列抗冲击分子泵对氮气及氢气压缩比曲线
CFB-N系列耐腐蚀复合分子泵安装尺寸表
型号规格 | CFB-1600N | |
高真空法兰 | LF250 | CF250 |
D1 | Ф290 | Ф305 |
D2 | Ф296 | Ф296 |
D3 | □183.8 | □183.8 |
L1 | 161 | 161 |
L2 | 166 | 166 |
H1 | 394 | 394 |
H2 | 110 | 110 |
H3 | 142.5 | 142.5 |
H4 | 104 | 104 |
泵腿螺钉孔 | 4-M8 | 4-M8 |
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