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日本ULVAC CFB-600F风冷复合分子泵 一、产品简介
CFB-F系列风冷复合分子泵的性能与复合分子泵一样，适用于没有水源且环境温度不高的地方，或经常移动的排气机组等。
日本ULVAC CFB-600F风冷复合分子泵 二、产品特点
复合分子泵对被抽气体无选择性、无记忆效应；由于对分子量大的气体有很高的压缩比，因此该泵不需要冷阱和捕油挡板即可获得清洁的高真空和超高真空。
日本ULVAC CFB-600F风冷复合分子泵 三、主要性能指标
型号 | CFB-600F | ||
订货号 | 3163 | 3164 | |
进气口法兰 | — | LF200 | CF200 |
排气口法兰 | — | KF40 | |
抽气速率 | L/s | 600 | |
压缩比N2/H2 | — | 1×109/1×104 | |
极限压强 | Pa | 5×10-7 | 8×10-8 |
电机转速 | rpm | 24000 | |
启动时间 | min | ＜5 | |
振动值 | μm | ≤0.1 | |
前极泵 | L/s | 4-8 | |
冷却方式 | — | 风冷（环境温度<37℃） | |
泵体烘烤温度 | ℃ | <120 | |
加热器功率 | W | <550 | |
加热器输入电压 | V | AC220 | |
安装方向 | — | 垂直±5° | |
重量 | kg | ～29 | |
四、特性曲线及安装尺寸
CFB系列风冷复合分子泵安装尺寸表
型号规格 | CFB-600F | |
高真空法兰 | LF160 | CF150 |
D1 | Ф180 | Ф202 |
D2 | Ф236 | Ф236 |
D3 | □45.7 | □145.7 |
L1 | 128 | 128 |
L2 | 137 | 137 |
H1 | 467 | 467 |
H2 | 70 | 70 |
H3 | 178.5 | 178.5 |
H4 | 151 | 151 |
泵腿螺钉孔 | 4-M8 | 4-M8 |
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