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日本ULVAC DIS-501渦旋干式真空泵技术参数

发布时间: 2015-12-29  点击次数: 1155次

日本ULVAC DIS-501渦旋干式真空泵 一、特性

 

• 双绕式涡旋泵,含1 根轨道螺旋和2 根固定螺旋。

• 可在大气压下实现操作运行。

• 可实现高极限真空。

• 低振动低噪音。

• 维护周期可通过计时表控制。

 

日本ULVAC DIS-501渦旋干式真空泵 二、应用

 

• 分析设备

• 气体回收系统

• 涂料设备

• TMP 前级泵

• 氦渗漏探测器

• 半导体制造工艺

 

日本ULVAC DIS-501渦旋干式真空泵 三、规格参数

 

 

单位

50Hz

60Hz

实际抽速

L/min

500

600

极限压力

Pa

1.0

马达

单相

 

100/115/200/230V, 600W, 4P, 电容启动运行

 

三相

 

200/208/230/380/400/415/460V, 600W, 4P

满载电流

单相

A

8.5/4.3/3.9
(100/200/230V)

2.7/1.57/1.57/1.63
(200/380/400/415V)

 

三相

 

10.0/8.6/4.8/4.0
(100/115/200/230V)

2.8/2.5/2.5/1.47
(200/208/230/460V)

重量

单相

kg

44.0

 

三相

 

38.0

进出气管道直径

 

进气管KF-40 出气管 KF-25

环境温度

°C

5 – 40

水蒸气处理

g/天

≤25 (A.F. 开启)

尺寸

单相

mm

290(W) × 443(L) × 397(H)

 

三相

 

290(W) × 372(L) × 397(H)

 

 

四、外形图

 

 

五、泵数曲线

 

六、对应电压与认证

 

电压

现行电压

CE 认证

CSA 认证

单相, 100V, 200V, 230V
115V (60Hz)

标准

 ●

三相, 200, 380V, 400V, 415V (50Hz) 
200V, 208V, 230V, 460V (60Hz)

标准

      ●

      ●




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