◇洁净真空 由于无油、不会返流至泵内，因此可以得到洁净的真空。 ◇低噪音、低振动 涡线管优良的平衡性，降低了噪音和振动。

ULVAC机工的直联型油旋片式真空泵，是由叶片旋转工作的盖德式真空泵。泵油的作用是润滑旋转机件、密封真空泵箱，从而达到优良、可靠、稳定的真空。

1.在吸气管下有油回流防止机构，与检查阀门一起，双重确保真空泵停止时不会产生油回流。 2.配有宽电压马达，适用于世界各地。 3.升级后减少了噪音和振动，噪音值小于48/50db。

.在吸气管下有油回流防止机构，与检查阀门一起，双重确保真空泵停止时不会产生油回流。 2.配有宽电压马达，适用于世界各地。 3.升级后减少了噪音和振动，噪音值小于48/50db。

真空压力：≥80KPa Z大压力：20Psi 流量：50L/min